刘荣华
【姓名】 刘荣华
【职称】
【研究领域】 水利水电工程;地球物理学;无线电电子学;
【研究方向】 水资源调度及水利信息化等方面的研究
【发表文献关键词】 线宽(CD)损失,刻蚀速率,硅锗固熔体,硅锗器件,超高真空(UHV),化学气相沉积(CVD),选择性,RIE刻蚀,化学气相外延,外延层,超高真空,CHCl3,生长温度,气相,干法刻蚀,生长速度,RF功...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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