李钟哲
【姓名】 李钟哲
【职称】
【研究领域】 化学;无线电电子学;数学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 诱蚀剂,气相,氟化,氧化硅,氟酸,光刻,显影,光刻胶,羟基-5-硝基二氢苊,无显影气相光刻、5-硝基二氢苊,无显影气相光刻,硝基,二氢苊,二氢,光氧化作用,无水,其他人,光致诱蚀,无明,二氧化硅,氢氟...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]洪啸吟,李钟哲,刘丹,吴兵,卢建平,段生权,陈明,王培清.无显影气相光刻(DFVP)研究的进展[J]高分子通报.2002,(03)
[2]洪啸吟,李钟哲,郭永宁,董桂荣.气相氟化氢与二氧化硅反应的研究[J]科学通报.1991,(06)
[3]洪啸吟,李钟哲,郭永宁,董桂荣.光刻中的气相氟化氢与二氧化硅反应的研究[J]硅酸盐学报.1992,(05)
[4]洪啸吟,李钟哲,郭永宁,董桂荣.STUDIES ON THE REACTION OF SILICON DIOXIDE ON GASEOUS HYDROGEN FLUORIDE[J]Chinese Science Bulletin.1992,(03)
[5]洪啸吟,刘丹,李钟哲,刘密新.5-硝基二氢苊在无显影气相光刻中的光致诱蚀作用的研究——5-硝基二氢苊的光氧化反应[J]感光科学与光化学.1992,(04)
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