孙培芬
【姓名】 孙培芬
【职称】
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 平面磁控溅射靶,氮气分压,合金膜,电磁铁,镀膜方法,双靶,不同成分,垂直取向,金靶材,靶面,双磁控,磁控溅射靶,连续调节,溅射装置,无规取向,矫顽力,靶材,氮化物,射频溅射,射线衍射,靶材料,过调节,...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
今年新增/文献篇数 核心期刊论文数 基金论文数 第一作者篇数 总被引频次 总下载频次
0/5 2 1 0 3 285
中国期刊全文数据库    共找到5篇
[1]范玉殿,马志龙,孙培芬,亢海霞,尤引娟.一种新型平面磁控溅射靶[J]真空科学与技术.1987,(01)
[2]陈海龙,夏宗宁,尤引娟,孙培芬,范玉殿.氮气对Co-Cr膜结构的影响[J]真空科学与技术.1988,(04)
[3]范玉殿 ,马志龙 ,孙培芬 ,尤引娟.复合电磁磁控溅射靶[J]真空.1989,(01)
[4]范玉殿,马志龙,孙培芬,尤引娟.平面磁控溅射靶及其镀膜方法[J]物理.1992,(09)
[5]范玉殿,马志龙,孙培芬,尤引娟.复合电磁磁控溅射靶及其镀膜方法[J]物理.1992,(09)
更多