苏亚
【姓名】 苏亚
【职称】
【研究领域】 计算机软件及计算机应用;金属学及金属工艺;
【研究方向】
【发表文献关键词】 氧化铈抛光液,颗粒浓度,pH值,稳定性,接触角,质量分数,性能影响,粘度,悬浮性能,润湿性,增大,表面抛光,抛光表面,抛光材料,表面粗糙度,CMP,硅片,CeO_2,研究,关系曲线,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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