邵天奇
【姓名】 邵天奇
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;计算机硬件技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 高介电常数材料,铁电存储器,BST薄膜,铁电场效应管,硅基铁电膜,工艺损伤,薄膜,刻蚀,铁电材料,铁电体,铁电膜,PZT薄膜,BaxSr1-xTiO3,铁电薄膜,氮化物,动态随机存取存储器,溶胶凝胶法...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]魏朝刚,任天令,邵天奇,王小宁,李春晓,刘理天,朱钧.硅基PZT薄膜的制备与工艺损伤[J]清华大学学报(自然科学版).2003,(04)
[2]王小宁,刘建设,任天令,赵宏锦,邵天奇,刘理天.应用于DRAM的BST薄膜制备与性能研究[J]压电与声光.2002,(06)
[3]邵天奇,任天令,李春晓,朱钧.高介电常数材料在半导体存储器件中的应用[J]固体电子学研究与进展.2002,(03)
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