潘文辉
【姓名】 潘文辉
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 禁带宽度,电子浓度,ITO膜,磁控溅射,氧化铟锡,霍耳系数,电学性能,半导,导带,体材料,光学常数,方块电阻,消光系数,In2O3,沉积速率,时制,光谱透过率,价带,Drude模型,折射率,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]史月艳,潘文辉,殷志强.氧化铟锡(ITO)膜的光学及电学性能[J]真空科学与技术.1994,(01)
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