马铁良
【姓名】 马铁良
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 背散射,轻离子,能谱,杂质,铁膜,方法研究,深度分布,大剂量,杂质原子,注入剂量,杂质注入,计算方法,铁原子,绝对浓度,能量损失,散射原子,相对浓度,体物,道数,背散射分析,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]瞿振元,马铁良,高乃飞,张宏涛,熊家炯.背散射方法研究金属中注入轻离子分布[J]物理学报.1984,(12)
[2]瞿振元;马铁良;高乃飞;张宏涛;熊家炯;.应用背散射技术研究固体薄膜[J]真空科学与技术.1984,(03)
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