陆家和
【姓名】 陆家和
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;仪器仪表工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 束斑,聚焦离子束,离子枪,束流,液态金属离子源,小电容测量,微细加,液态金属,亚微米,真空测量,束径,离子源,薄膜电容,真空计,透镜,静电透镜,微细加工,实验研,单级,对中器,规管,真空科学,光栏,离...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京海淀
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[1]叶志斌,陆家和,金奇计.电子轰击离子源脉冲离化电子流的测量[J]真空.2002,(02)
[2]彭永生,刘心红,陆家和.液态金属离子源静电透镜离子枪的实验研究[J]真空科学与技术.1994,(04)
[3]毕建华,陆家和.聚焦离子束(FIB)刻蚀在光电子器件方面的应用[J]真空科学与技术.1994,(04)
[4]俞学东,朱煦,张燕梅,陆家和.薄膜电容真空计电源的研究[J]真空科学与技术.1994,(06)
[5]俞学东，毕建华，陆家和.单级透镜聚焦离子束系统的研究[J]微细加工技术.1994,(03)
[6]俞学东，毕建华，陆家和.可变束流二级透镜聚焦离子束系统的设计[J]微细加工技术.1994,(04)
[7]毕建华,俞学东,陆家和.束流可调的二级透镜亚微米聚焦离子束枪的设计计算和调测结果[J]真空科学与技术.1995,(02)
[8]毕建华，俞学东，陆家和.亚微米聚焦离子束溅射刻蚀的实验研究[J]微细加工技术.1996,(02)
[9]俞学东,毕建华,陆家和.二级透镜聚焦离子束系统及其对中方法[J]清华大学学报(自然科学版).1997,(10)
[10]俞学东,毕建华,刘心红,宋风华,陆家和.亚微米聚焦离子束的漂移现象[J]真空科学与技术.1997,(03)
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