刘书译
【姓名】 刘书译
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 IC工艺,多元统计,样本,分析软件,样本集,工艺参数,栅氧化,软件包,权值,判别分析,设备号,自动分类,数据子集,判别边界,调制系数,衬底杂质浓度,标识符,离子注,表面迁移率,器件参数,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]刘书译,陈天鑫,李志坚.多元统计分析软件包(MSA)及其在IC工艺决策中的应用[J]电子学报.1991,(02)
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