富力文
【姓名】 富力文
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄片电阻率,探针测量,双面扩散,微波等离子体化学气相沉积,电子回旋共振,击穿电压,面扩散,淀积室,埋层,放电室,新计算,RESURF,LDMOS,耗尽区,反型层,原理应用,探针,漂移区,淀积速率,修正...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】
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[1]富力文，阎力大.RESURF原理应用于SOI　LDMOS晶体管[J]半导体学报.1996,(04)
[2]王新久,陈培毅,富力文.方形探针测量矩形薄片电阻率的一种新计算方法及讨论[J]半导体技术.1983,(04)
[3]富力文.电子回旋共振微波等离子体化学气相沉积[J]物理.1989,(03)
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