曹芒
【姓名】 曹芒
【职称】
【研究领域】 仪器仪表工业;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 表面微观形貌测量,三维评定参数,X射线干涉测量,面阵CCD,位相板,干涉仪,参数评定,Ｘ射线,衍射图样,出射光,自动电压控制,最佳选择,晶片厚度,光外差,表面粗糙度,光学探针,图像处理,相位测量,X射...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]王林,李达成,曹芒,曹世志,L.Koenders,U.Kuetgens,P.Becker.X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量[J]光学学报.2000,(12)
[2]王林,李达成,曹芒.X射线干涉仪中单晶硅微动工作台的研制[J]仪器仪表学报.2000,(06)
[3]黄建辉,曹芒,李达成,程晓辉.用于干涉型光纤传感器的相位生成载波解调技术[J]光学技术.2000,(03)
[4]梁嵘，李达成，曹芒，赵洋.表面微观形貌测量中光探针大小对测量结果的影响[J]光电工程.1999,(02)
[5]赵洪志，李达成，曹芒.测量精度达3.2nm的在线表面粗糙度外差干涉仪信号处理系统[J]光电工程.1999,(02)
[6]王林,李达成,曹芒.用于X射线干涉纳米测量的微动工作台的有限元分析[J]光电工程.1999,(05)
[7]梁嵘,李达成,曹芒,赵洪志,武勇军.在线测量表面粗糙度的共光路激光外差干涉仪[J]光学学报.1999,(07)
[8]郝群,赵洋,李达成,曹芒.面阵CCD在大尺寸形位误差测量中的应用(英文)[J]仪器仪表学报.1999,(02)
[9]王林,曹芒,李达成.LLL型X射线干涉仪中的晶片厚度的最佳选择[J]光学技术.1999,(01)
[10]王佳,李达成,曹芒,赵洋.大型工件平面度平行度垂直度误差计算与评定方法[J]航空计测技术.1994,(02)
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