岸本哲
【姓名】 岸本哲
【职称】
【研究领域】 力学;物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 电子束刻蚀法,云纹法,电子束云纹法,剩余变形,高频光栅,光栅,原子力显微镜,激光辐照,纳米测量,电子束云纹,变形测量,云纹,纳米,双频光栅,试件栅,原子力,实验研,云母,电子束抗蚀剂,光栅技术,扫描范...
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]谢惠民;王怀喜;马少鹏;刘清珺;岸本哲;.显微云纹技术在微电子器件力学测量中的应用[J]力学与实践.2009,(03)
[2]谢惠民,赵兵,戴福隆,岸本哲,张维.纳米云纹法实验研究[J]光学技术.2000,(03)
[3]谢惠民,戴福隆,岸本哲,张维.电子束刻蚀法制作微米/亚微米云纹光栅技术[J]光学技术.2000,(06)
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