Ampere
【姓名】 Ampere
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 聚焦离子束,注入,沉积,蚀刻,直接写入,微加工,离子束,研磨,悬臂梁,探针,扫描头,聚焦离子束技术,离子注入,硅基底,悬垂结构,真空封装,纳米结构,沉积技术,离子源,离子束光刻,
【工作单位】 清华大学
【曾工作单位】 清华大学;
【所在地域】 北京
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[1]Ampere A.Tseng,苏才钧,周兆英,叶雄英,王晓浩.微加工中的聚焦离子束直接写入技术[J]微纳电子技术.2003,(11)
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