余剑平
【姓名】 余剑平
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 ISFET传感器,样管,多层结构,ISFET,敏感膜,膜材料,长时间漂移,灵敏度,灵敏度曲线,ISFET器件,离子活度,Si_3N_4,界面势,阈值电压,电学特性,活度,介质膜,响应灵敏度,掩蔽作用,...
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】
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[1]祁增芳,余剑平.多层结构ISFET传感器特性的研究[J]半导体技术.1990,(01)
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