M.H.Liu
【姓名】 M.H.Liu
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 光刻,等离子体焦点,X射线,子体,高重复率,软X射线,X射,紧凑型,X射线源,氖气,等离子,焦点,光刻术,放电室,光刻胶,内电极,点光源,线发射,气压,准直性,
【工作单位】 南洋理工大学
【曾工作单位】 南洋理工大学;
【所在地域】 新加坡
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[1]张贵新,罗承沐,王新新,Sing Lee,Paul Lee,M.H.Liu.高重复率紧凑型等离子体软X射线源[J]高电压技术.2002,(S1)
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