李占柱
【姓名】 李占柱
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 成份比,沉积,计算,角分布,溅射,Monte-Carlo法,溅出,超导薄膜,原子,靶材,直接抽样方法,三种分布,散射角,粒子数,分布计算,实验结果,机抽,圆筒,南开大学,沉积速率,
【工作单位】 南开大学
【曾工作单位】 南开大学;
【所在地域】 天津
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[1]韩瑞雪,李占柱,梁翠果,白鹤翔.用Monte-Carlo法对制备Y_1Ba_2Cu_3O_(7-δ)超导薄膜过程的模拟[J]真空.1991,(03)
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