宋毅
【姓名】 宋毅
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅烷,杂质分布,外延,扩展电阻,外延层,自掺杂,常压,探针,固体器件,扩展电阻法,半无穷,过渡区,表面浓度,修正因子,生长温度,汽相,生长压力,实验装置,浓度范围,硅外延,
【工作单位】 南京电子器件研究所
【曾工作单位】 南京电子器件研究所;
【所在地域】
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[1]田光炎,陆春一,孙景山,宋毅.硅烷低压外延技术[J]固体电子学研究与进展.1984,(03)
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