玉志超
【姓名】 玉志超
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 微晶硅,吸收带,非晶,氢化,红外,氢含量,光谱研究,衬底温度,非晶硅,射频功率,积分强度,伸缩振动,悬挂键,退火温度,吸收带强度,晶拉尺寸,硅膜,生长速率,逸出,估计样品,
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】
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[1]何宇亮,颜永红,殷晨钟,玉志超,沈学础,朱浩荣.氢化非晶及微晶硅的氢含量和红外光谱研究[J]半导体学报.1984,(05)
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