李联珠
【姓名】 李联珠
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 闪耀光栅,快速热退火,合金化,热合金,规管,接触电阻率,平面器件,V形槽,硅集成电路,欧姆接触,各向异性腐蚀,结构制作,石墨块,互扩散,Al-Si,浅结,管式炉,金属-半导体,Pn结,衍射效率,接触界...
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】 南京
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[1]陈存礼,彭辉,李联珠.硅集成电路和平面器件的常规管式炉快速合金化[J]半导体技术.1987,(03)
[2]黄信凡,李联珠,高文琦,叶权书.利用硅上倾斜V形槽结构制作闪耀光栅[J]光学学报.1988,(01)
[3]陈存礼,彭辉,李联珠.Al-Si接触的快速热退火[J]半导体学报.1988,(03)
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