陈茂瑞
【姓名】 陈茂瑞
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅薄膜,生长技术,光学带隙,氢气,晶化,光电性质,硅烷,硅膜,氢稀释,沉积速率,低温生长,带隙,气体源,红外,衬底温度,薄膜沉积,氢含量,电导测量,晶粒尺寸增大,成核,
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】
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[1]陈茂瑞，陈坤基，姜建功，施伟华.利用逐层生长技术制备硅薄膜的研究[J]半导体学报.1994,(09)
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