程仲元
【姓名】 程仲元
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;无线电电子学;物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁控放电,过滤真空电弧沉积,真空测量,真空灭弧室,灭弧室,弧源,类金刚石薄膜,离子电流,沉积,电弧触发,Raman光谱,磁控,真空计,真空电弧,TiN薄膜,触发电路,真空沉积,电弧沉积,过滤式,电弧,...
【工作单位】 南京航空航天大学
【曾工作单位】 南京航空航天大学;
【所在地域】 南京
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[1]李亮,程仲元,王珉.真空电弧沉积薄膜显微硬度与工艺参数的关系[J]机械科学与技术.2004,(04)
[2]袁安富,程仲元,王珉.真空等离子沉积中真空电弧的产生及触发电路的设计[J]南京航空航天大学学报.2000,(01)
[3]程仲元,王珉.真空电弧沉积技术中的弧源设计[J]真空科学与技术.1999,(02)
[4]程仲元,王珉.用过滤式电弧沉积系统制备类金刚石薄膜[J]微细加工技术.1999,(01)
[5]袁安富,程仲元,王珉.物理气相沉积法沉积类金刚石膜时触发电路的设计[J]江苏机械制造与自动化.1999,(04)
[6]程仲元,王瑛.灭弧室用磁控真空计的研究[J]真空科学与技术.1998,(06)
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