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张浩康
【姓名】
张浩康
【职称】
【研究领域】
无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】
SnO_2薄膜,气敏元件,磁控溅射源,磁控反应溅射,高熔点材料,溅射系统,镀膜材料,反应气氛,锥形环,溅射速率,靶材料,微晶玻璃,靶面,氧化锡膜,等离子体,气敏薄膜,化合物膜,功率密度,电阻膜,AES...
【工作单位】
南京工学院
【曾工作单位】
南京工学院;
【所在地域】
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共找到1篇
[1]郭耀华,张浩康.
SnO_2薄膜气敏元件
[J]传感器技术.1987,(Z1)
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