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戴靖东
【姓名】
戴靖东
【职称】
【研究领域】
仪器仪表工业;自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】
精密工作台,微细加工,超大规模集成电路,工作台,动态响应,工作台系统,台身,状态方程,矩频特性,动能,多自由度系统,状态空间法,转移矩阵,移动方向,动态运动规律,拉格朗日方程,最大应变能,驱动机构,非...
【工作单位】
南京工学院
【曾工作单位】
南京工学院;
【所在地域】
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共找到2篇
[1]戴靖东.
超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应
[J]微细加工技术.1987,(Z1)
[2]戴靖东;.
超大规模集成电路微细加工精密工作台系统的动态响应
[J]南京工学院学报.1987,(01)
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