蒋锡平
【姓名】 蒋锡平
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 激光结晶,再结晶,硅膜,SOI结构,多晶硅,功率窗口,Ar~+激光,剖面TEM,多晶,二氧化硅界面,质的因素,非晶硅,外延生长,激光辐照,氧化层,激光功率,激光再结晶,陷阱密度,熔区,界面态,衬底温度...
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】
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[1]黄信凡,鲍希茂,蒋锡平,文婧,褚一鸣.影响Ar~+激光再结晶多晶硅/二氧化硅界面性质的因素[J]半导体学报.1986,(06)
[2]蒋锡平,鲍希茂,华雪梅.激光波长对SOI激光结晶机理的影响[J]中国激光.1990,(10)
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