严飞
【姓名】 严飞
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 低压化学气相淀积,异质外延生长,碳化硅,3C-SiC,低温外延,超低压,外延薄膜,外延生长,外延层,原子浓度,南京大学,SiC薄膜,物理系,气源,表面形貌,衍射峰,俄歇,化学计量比,衬底取向,原子力显...
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】 南京
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[1]严飞,郑有炓,陈平,孙澜,顾书林,朱顺明,李雪飞,韩平.Si(111)衬底上3C-SiC的超低压低温外延生长[J]高技术通讯.2002,(11)
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