夏鑫
【姓名】 夏鑫
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 热退火,退火温度,盖片,磷硅玻璃,退火时间,激活率,包封退火,注入剂量,霍耳测量,电激活,InP单晶,表面载流子浓度,离子注入,样品表,氖气,保护气体,封层,火温,范德堡法,二次缺陷,
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】
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[1]江若琏,夏鑫,郑有炓.注硅InP的包封与无包封热退火[J]固体电子学研究与进展.1987,(04)
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