李建年
【姓名】 李建年
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 快速热退火,共溅射,Si薄膜,硅化物,薄层电阻,衍射峰,钛,固相反应,稳定相,钨硅化物,热氧化,喇曼,钛膜,退火温度,亚稳相,硅原子,硅系统,退火时间,未退火,成核相,非晶,TiSi,TiSi_2,钛...
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】 南京
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[1]陈存礼,李建年,华文玉.钛-硅系快速热退火固相反应机制的研究[J]物理学报.1990,(07)
[2]陈存礼,李建年,华文玉.共溅射W-Si薄膜的快速热退火及其热氧化研究[J]半导体学报.1991,(04)
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