黄少云
【姓名】 黄少云
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 SiO2,超薄氧化,等离子氧化,等离子体氧化,国家重点实验室,微结构,南京大学,固体,物理系,物理,超薄氧化层,南京,椭圆偏振法,栅极氧化层,高温热氧化,掺杂原子,电子谱,硅氧化,X射,线光,
【工作单位】 南京大学
【曾工作单位】 南京大学;
【所在地域】 南京
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[1]鲍云,蒋明,李伟,马忠元,黄少云,王立,黄信凡,陈坤基.等离子体氧化制备超薄SiO_2层的性质[J]半导体学报.2001,(08)
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