郭述文
【姓名】 郭述文
【职称】
【研究领域】 自动化技术;
【研究方向】
【发表文献关键词】 薄膜,内应力,温度特性,复合弹性模量,光CVD,测量温度,热膨胀系数,薄膜应力,衬底材料,簿膜,计算机,微晶硅,快速测量,温度特性曲线,牛顿环,干涉图样,南昌大学,曲率半径,南昌,温度,
【工作单位】 南昌大学
【曾工作单位】 南昌大学;
【所在地域】 南昌
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[1]罗庆芳,郭述文,唐琳,王兼善,肖韶荣.薄膜内应力与温度特性的研究[J]微电子学与计算机.1997,(04)
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