肖啸
【姓名】 肖啸
【职称】 教授;
【研究领域】 物理学;仪器仪表工业;无线电电子学;
【研究方向】 信息光学和传热学
【发表文献关键词】 抗蚀剂,光刻,掩模,曝光,后烘,折/衍混合,消色差,驻波效应,显影轮廓,混合光学,光刻技术,微光学元件,灰阶编码掩模,光学光刻,灰阶,灰阶掩模,分辨率,预校正,编码,发展现状,光学光刻技术,投影光刻,...
【工作单位】 乐山师范学院
【曾工作单位】 乐山师范学院;
【所在地域】 四川乐山
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