永福
【姓名】 永福
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 场板,SOI,硅化钛,自对准工艺,结终端技术,保护环,终端技术,快速热退火,工艺研究,PN结,方块电阻,P-N结,终端结构,低电阻,工艺条件,硅材料,工作机理,难熔金属硅化物,溅射,快速退火,串联电阻...
【工作单位】 辽宁大学
【曾工作单位】 辽宁大学;
【所在地域】 辽宁沈阳
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[1]石广源,王莉,宋哲,永福,张丽,王芳.SOI自对准硅化钛工艺研究[J]辽宁大学学报(自然科学版).2005,(03)
[2]石广源,永福,宋文斌,赵贵勇,王莉,宋哲.新型PN结终端技术的研究[J]辽宁大学学报(自然科学版).2005,(02)
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