丁德宏
【姓名】 丁德宏
【职称】
【研究领域】 物理学;自动化技术;计算机硬件技术;
【研究方向】 多孔硅的研究
【发表文献关键词】 多孔硅,TMAH,各向异性,腐蚀速率,散射,粗糙度,内补偿,腐蚀液,晶向,能量赝势法,压力传感器,线性度,硅杯,MEMS,量子限制模型,寄生参数,微机电系统加工工艺,孔隙度,硅压力传感器,腐蚀时间,非...
【工作单位】 辽宁大学
【曾工作单位】 辽宁大学;
【所在地域】 沈阳市
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[1]沈桂芬,付世,丁德宏,姚朋军,张宏庆,范军,吕品.硅压力传感器的非线性分析及优化设计[J]传感技术学报.2003,(01)
[2]付世,丁德宏,姚朋军,单新华,沈桂芬.多孔硅形成机理研究的新进展[J]辽宁大学学报(自然科学版).2003,(01)
[3]沈桂芬,张宏庆,韩宇,范军,付世,丁德宏,姚朋军.微机电系统的研究与分析[J]传感技术学报.2004,(01)
[4]丁德宏,张宏,付世,姚朋军,范军,张宏庆,沈桂芬.多孔硅的能带与发光机制的研究与分析[J]辽宁大学学报(自然科学版).2004,(01)
[5]沈桂芬,范军,张宏庆,付世,丁德宏,姚朋军.多孔硅的能带变化及光致发光的研究[J]微电子学与计算机.2004,(04)
[6]张宏庆,张宏,范军,丁德宏,付世,沈桂芬.一种16位存储器版图的验证与参数提取[J]辽宁大学学报(自然科学版).2004,(04)
[7]沈桂芬,姚朋军,丁德宏,付世,吕品,杨春常,刘宏俊,王振波.采用TMAH腐蚀液形成正方形硅杯的粗糙度与腐蚀速率的研究与分析[J]传感技术学报.2002,(03)
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