田仁杰
【姓名】 田仁杰
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 负电荷效应,成品率,管芯,Si界面,界面质量,界面电荷,SiO_2/Si,界面态,退火温度,层电荷,抛光,固定氧,界面效应,界面缺陷,金片,兰州大学,实验研究,铬离子,退火时间,转折温度,氢气退火,混...
【工作单位】 兰州大学
【曾工作单位】 兰州大学;
【所在地域】
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[1]李思渊,李寿嵩,张秀文,杨映虎,裘惠芳,田仁杰,马莉莉,郑秩,孟益民,柳南辉.金在Si_2O/Si界面处负电荷效应的实验研究[J]半导体技术.1981,(02)
[2]李思渊,李寿嵩,张秀文,杨映虎,裘会芳,盂益民,柳南辉,郑秩,马莉莉,张同军,田仁杰.SiO_2/Si界面质量的特征性表示及与管芯成品率的关系[J]半导体技术.1981,(06)
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