骆伙有
【姓名】 骆伙有
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 反应室,去胶,园筒,等离子体,刻蚀速率,刻蚀气体,阳极电压,放电电压,汽化器,耦合系数,等离子,刻蚀工艺,刻蚀过程,干式,放电功率,振荡回路,反应式,时反应,紫铜管,电气部分,
【工作单位】 暨南大学
【曾工作单位】 暨南大学;
【所在地域】
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[1]钟雨乐,骆伙有.园筒型等离子体刻铝及去胶系统[J]半导体技术.1987,(03)
[2]钟雨乐;赵守安;骆伙有;.SiN_xH_y/SiO_2氢离子敏器件及其特性[J]暨南大学学报(自然科学与医学版).1992,(03)
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