王继春
【姓名】 王继春
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 钝化膜,工艺研究,金属化层,钝化层,过密化,潮热,Si片,软击穿,PSG膜,晶体管,芯片,Si—O—Si键,Si界面,抗沾污,低温淀积,平面器件,水汽,钝化效果,Si系,红外吸收光谱,
【工作单位】 济南市半导体元件实验所
【曾工作单位】 济南市半导体元件实验所;
【所在地域】
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[1]王继春,史保华.PSG钝化膜密化工艺研究[J]半导体技术.1992,(06)
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