杨恢东
【姓名】 杨恢东
【职称】 教授;
【研究领域】 电力工业;无线电电子学;自动化技术;
【研究方向】 微电子材料与器件应用、集成电路设计
【发表文献关键词】 硼掺杂,硼补偿,光发射谱,氢化,沉积速率,甚高频等离子体化学气相沉积(VHF-PECVD),硅烷(SiH4)等离子体,等离子体增强,微晶硅,硅薄膜,甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)...
【工作单位】 暨南大学
【曾工作单位】 暨南大学;
【所在地域】 广东广州
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