武壮文
【姓名】 武壮文
【职称】
【研究领域】 电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 GaAs,氧化膜,自生,热氧化,变容管,结深,扩散系数,闭管,扩散深度,扩散时间,平面工艺,杂质,掩蔽区,变容二极管,外延片,掩蔽膜,热氧化法,样管,吉林大学,反应管,
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】
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[1]戴国瑞,姜秀英,武壮文,励映群,刘玉梅,路鹏.GaAs热氧化自生氧化膜掩蔽Zn扩散的研究[J]吉林大学自然科学学报.1983,(02)
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