杨振星
【姓名】 杨振星
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅外延,外延片,生长温度,电阻率,提高成品率,P型,SICI,外延层,低阻,挥发器,成品率,生长速率,外延生长,外延,硅衬底,定参数,生长时间,硅单晶,片数,工农兵学员,
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】
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[1]杨振星,蔺玉生.P型低阻硅外延生长提高成品率的探讨[J]吉林大学学报(自然科学版).1976,(02)
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