柯岚
【姓名】 柯岚
【职称】
【研究领域】 物理学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅外延,SiCl_4,生长速率,SICI,外延层,外延,半导,常压,外延片,埋层,均匀性,机械泵,图型,电阻率,衬底片,吉林大学,外延生长,自掺杂,针型阀,晶体完整性,
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】
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[1]刘明登,杨树人,许新民,李伟,傅则钟,柯岚,赵大力.SiCl_4-H_2体系低压硅外延的研究[J]吉林大学自然科学学报.1983,(01)
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