吕德安
【姓名】 吕德安
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;物理学;工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 PSG膜,液态源,等离子体增强化学汽相淀积,PECVD,TiO_2薄膜,台面,GaAs,结构和性质,气敏元件,大功率晶体管,PECVD法,晶体管,掩蔽扩散,厚膜,反向击穿电压,等离子体,结深,SnO_...
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】 长春
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[1]戴国瑞,吕德安,姜秀英,姜辛,周济,裴燕,宣丽,崔东日,张国栋,徐桂珍,郝文昌,崔玉强.液态源PECVD淀积SiO_2和PSG膜用于硅大功率晶体管台面钝化的探索[J]半导体技术.1986,(06)
[2]戴国瑞,吕德安,方石平,王艳阳,梁大成.用PECVD法制备SiO_2进行Zn在GaAs中掩蔽扩散研究[J]固体电子学研究与进展.1987,(02)
[3]戴国瑞,吕德安,高长明.等离子体增强化学汽相淀积TiO_2薄膜的结构和性质研究[J]太阳能学报.1987,(01)
[4]吕德安,戴国瑞,邵丽梅,张晓燕.等离子体增强化学气相沉积(PECVD)SnO_2薄膜及其性质研究[J]吉林大学自然科学学报.1988,(01)
[5]卢革宇,孙良彦,吕德安,吴家琨,刘正绣,韩敬,魏秀红,邱要武.CO选择性厚膜气敏元件及其特性[J]吉林大学自然科学学报.1992,(02)
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