丛志先
【姓名】 丛志先
【职称】
【研究领域】 物理学;无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 硅外延,矩形反应器,表面反应模型,质量输运,生长速率,输运模型,反应器,参数模型,化学气相淀积,光输出,稳态特性,内涡旋,混合动力学,阶梯,MOCVD,内条形,有限元法,复杂流动,涡旋,热浮力,有限元...
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】 长春
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[1]刘明登,金希卓,丛志先.矩形反应器中硅外延生长速率的估算[J]固体电子学研究与进展.1988,(03)
[2]金希卓,刘明登,丛志先.减压硅外延的混合动力学分析[J]吉林大学自然科学学报.1988,(04)
[3]丛志先,金希卓.CVD反应器内复杂流动现象的有限元模拟[J]吉林大学自然科学学报.1992,(01)
[4]金希卓,丛志先,刘明登.卧式MOCVD反应器内涡旋分布数值模拟[J]半导体学报.1993,(01)
[5]张晓波,赵方海,王文,杜国同,杨树人,高鼎三,丛志先,金希卓.阶梯和窄台衬底内条形激光器光输出稳态特性分析[J]半导体学报.1993,(09)
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