梁大成
【姓名】 梁大成
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 GaAs,PECVD法,掩蔽扩散,结深,横向扩散,TEOS,PECVD,扩散时间,膜厚度,GaAs表面,H激光器,液态源,变容二极管,热分解,扩散温度,扩散系数,化合物半导体,穿透速率,界面应力,选择...
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】
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[1]戴国瑞,吕德安,方石平,王艳阳,梁大成.用PECVD法制备SiO_2进行Zn在GaAs中掩蔽扩散研究[J]固体电子学研究与进展.1987,(02)
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