姜志刚
【姓名】 姜志刚
【职称】 教授;
【研究领域】 物理学;工业通用技术及设备;金属学及金属工艺;
【研究方向】 超硬薄膜的制备与应用研究
【发表文献关键词】 金刚石厚膜,N离子注入,等离子体辅助,成键结构,孪晶,CNx,化学气相沉积,阴极辉光,化学结合状态,热阴极,热阴极DC-PCVD,PACVD,金刚石,射频磁控溅射,金刚石膜,台阶,母晶,CN_x,PC...
【工作单位】 吉林大学
【曾工作单位】 吉林大学;
【所在地域】 吉林长春
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