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胡航
【姓名】
胡航
【职称】
【研究领域】
工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】
金刚石厚膜,热阴极DC-PCVD,生长特性,内应力,金刚石膜,孪晶,生长速率,工作气压,热阴极,甲烷,母晶,压应力,柱状生长,内应力状态,宏观应力,PCVD,台阶式生长,基板温度,张应力,气压,
【工作单位】
吉林大学
【曾工作单位】
吉林大学;
【所在地域】
吉林长春
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共找到1篇
[1]金曾孙,姜志刚,胡航,曹庆忠.
热阴极DC-PCVD方法制备的金刚石厚膜的生长特性和内应力
[J]新型炭材料.2003,(01)
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