张丽娜
【姓名】 张丽娜
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;高等教育;
【研究方向】
【发表文献关键词】 TiN薄膜,靶中毒,反应溅射,靶动力学,溅射制备,反应粒子,生长速率,速率模型,溅射,中性粒子,源粒子,靶面,固体电子学,粒子,反应室,粒子浓度,产额,电荷交换,底表面,靶粒子,薄膜生长,阴极鞘层,华...
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】 武汉
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[1]王敬义,王颖,陈忠财,胡慧娟,李振香,王宇,刘凤堂,张丽娜.反应溅射制备TiN薄膜的靶动力学研究[J]微细加工技术.1997,(01)
[2]王宇,张丽娜,陈忠财,李振香,胡慧娟,杨剑辉,王敬义.反应溅射制备TiN薄膜的生长速率模型研究[J]微细加工技术.1997,(01)
[3]王敬义,杨剑辉,胡慧娟,陈忠财,张丽娜,李振香,王宇,王颖.反应溅射制备TiN薄膜的靶中毒模型研究[J]微细加工技术.1997,(01)
[4]胡慧娟,揭小敏,张丽娜.坚持科学研究,促进教学发展[J]高等工程教育研究.1993,(01)
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