张芳
【姓名】 张芳
【职称】
【研究领域】 电力工业;
【研究方向】
【发表文献关键词】 音圈电机,氟塑料套筒,光刻机,滚珠导套,音圈,伺服图形,调焦系统,长音圈,短音圈,片簧,调焦,频响特性,磁钢,氟塑料,幅频,相频,磁密,磁盘表面,磁铁系统,相频特性,
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】
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[1]罗敢,张芳,王岳环,张彪.伺服图形光刻机调焦系统音圈电机的设计[J]电子计算机与外部设备.1999,(03)
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