刘洪祥
【姓名】 刘洪祥
【职称】
【研究领域】 物理学;材料科学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 磁镜场,离子能量分布,薄膜,磁镜比,SnO2,低温等离子体,PECVD,辉光放电,射频等离子体,弱磁场,薄膜性能,轴向分布,薄膜电阻,场强度,SnO_2,放电管,磁镜,均匀范围,离子能量,电阻,收集盘...
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】 武汉
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[1]刘洪祥,魏合林,刘祖黎,刘艳红,王均震.磁镜场对射频等离子体中离子能量分布的影响[J]物理学报.2000,(09)
[2]刘洪祥,魏合林,刘艳红,刘祖黎.弱磁场对SnO_2薄膜性能的影响[J]功能材料.2001,(04)
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