惠松骁
【姓名】 惠松骁
【职称】
【研究领域】 工业通用技术及设备;
【研究方向】
【发表文献关键词】 功能薄膜,涂层技术,制备技术,ZrO_2,热障涂层,溅射,离子辅助沉积,电子束蒸镀,沉积速率,二极溅射,反应磁控溅射,靶材,光学膜,热合金,化合物膜,辅助沉积,热障,磁控,反应气体,涂层,
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】
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[1]惠松骁，周卓华，许大庆，赵建生.Al_2O_3、ZrO_2功能薄膜的性能及制备技术[J]电子工艺技术.1996,(02)
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