周文丽
【姓名】 周文丽
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 铁电电容,铁电薄膜,微细加,微电容,腐蚀速率,电极材料,微细图形,多靶溅射,上电极,腐蚀液,光刻胶,隔离介质,制作工艺,混合液,套刻,底电极,过热处理,微细加工,缓冲液,工艺流程,
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】
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[1]曹广军,吴正元,于军,周文丽,陈萍丽,谢基凡.铁电微电容的制作工艺[J]压电与声光.1995,(01)
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