章青
【姓名】 章青
【职称】
【研究领域】 无线电电子学;
【研究方向】
【发表文献关键词】 刻蚀速率,α-Si TFT,等离子刻蚀,等离子体刻蚀,T矩阵,反应室,衬底温度,射频功率,选择刻蚀,等离子体,钻蚀,均匀性,刻蚀气体,离子浓度,CF_4,TFT有源矩阵,电极板,选择性刻蚀,刻蚀时间,...
【工作单位】 华中理工大学
【曾工作单位】 华中理工大学;
【所在地域】
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[1]赵伯芳,张少强,章青,王长安.α—Si TFT矩阵等离子体刻蚀技术的研究[J]微细加工技术.1993,(02)
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